可加工工件口徑250mm，表面粗糙度Ra<2nm，面形精度PV<0 2μm。可加工平面、球面、錐面、非球面、離軸面、自由曲面、衍射面、模仁D-CUT等
可加工工件口徑250mm，表面粗糙度Ra<2nm，面形精度PV<0.2μm。
可加工平面、球面、錐面、非球面、離軸面、自由曲面、衍射面、模仁D-CUT等。
可選配B軸，實現(xiàn)360°分度功能，用于加工多棱反射鏡。
可加工材料包括銅、鋁、單晶鍺、硒化鋅、單晶硅、硫系玻璃、氟化物、樹脂、人工晶狀體、PMMA等。
超精密氣體靜壓主軸，標(biāo)配C軸功能
主軸采用內(nèi)裝式電機+高精度編碼器
X/Z軸均采用液體靜壓導(dǎo)軌，直線電機驅(qū)動，全閉環(huán)控制
PMAC可編程控制器
真空度可切換吸盤
精密微調(diào)刀架
在線動平衡調(diào)整系統(tǒng)
自水平氣浮隔振系統(tǒng)
壓縮空氣處理系統(tǒng)
恒壓伺服液壓系統(tǒng)
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基礎(chǔ)配置 |
超精密氣體靜壓主軸，超精密液體靜壓導(dǎo)軌，“T”型布局 |
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振動隔離 |
自調(diào)節(jié)氣浮墊鐵 |
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控制系統(tǒng) |
PMAC可編程控制器 |
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加工軟件 |
超精密數(shù)控車床加工軟件[簡稱：SPDT2DTools] |
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編程分辨率 |
直線運動0.1nm，回轉(zhuǎn)運動0.000001° |
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性能指標(biāo) |
表面粗糙度Ra<3nm，面形精度PV<0.2μm |
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線性軸 |
X軸（垂直于主軸） |
Z軸（沿主軸） |
快刀 |
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類型 |
液體靜壓導(dǎo)軌、全閉環(huán)控制 |
液體靜壓導(dǎo)軌、全閉環(huán)控制 |
行程：±1mm |
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最大行程： |
350mm |
150mm |
最大加工速度：30G |
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驅(qū)動方式 |
直線電機 |
直線電機 |
最高工作頻率：400Hz |
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光柵分辨率 |
31.25pm |
31.25pm |
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直線度： |
0.1μm/50mm |
0.1μm/50mm |
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最大進給速度： |
20mm/s |
20mm/s |
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旋轉(zhuǎn)軸 |
主軸（工件軸） |
C軸 |
磨頭 |
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轉(zhuǎn)速 |
0-10000rpm |
0-1000rpm |
氣動磨頭 |
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旋轉(zhuǎn)精度 |
≤20nm |
轉(zhuǎn)角定位精度5”,重復(fù)定位精度2” |
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基礎(chǔ)條件 |
壓縮空氣要求 |
供電要求 |
占地空間 |
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溫度控制：22±1℃ |
供氣壓力：0.6MPa |
380V，三相五線制，50Hz 額定功率: 8Kw |
長寬高：2100*1200*1900mm 重量：2T |
